線性滑軌的精度可分為行走平行度、高度(H)及寬度( W 1 )的尺寸容許誤差。滑軌單軸使用或在同一平面使用複數軸線性滑軌時，規範各個滑塊組合高度與寬度的成對相互差。各型號的精度分為普通級(C)、高級(H)、精密級(P)、超精密級(SP)與超高精密級(UP)五個等級。同一平面上有2軸線性滑軌以上配對使用時，寬度(W 1 )的尺對容許誤差與成對相互差(ΔW 1 )只適用於基準軸。另精度測定值是以滑塊中心點或中心部的平均值為基準。